«Росэлектроника» уменьшила размер СВЧ-резонаторов

Устройства превосходят российские и зарубежные аналоги по ряду характеристик 8 Декабрь 2016, 12:31
Специалисты холдинга «Росэлектроника» разработали технологию изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов, позволяющую в несколько раз сократить вес и размеры микроэлектронных устройств.

Метод, разработанный в Омском НИИ приборостроения (ОНИИП), позволяет выпускать СВЧ-резонаторы с Брэгговским отражателем на основе пленок оксида цинка и нитрида алюминия с добротностью 300-350 единиц и 500-650 единиц соответственно в едином технологическом цикле на частоту от 2 до 5 ГГц, а в перспективе до 20 ГГц.

Опытные образцы устройств по ряду электрических и технологических характеристик превосходят российские и зарубежные аналоги. Например, их размеры составляют всего 1,5х1,5х0,6 мм.

«Эта технология позволяет освоить выпуск принципиально новой для российского рынка продукции в сфере микроэлектроники», – отметил генеральный директор «Росэлектроники» Игорь Козлов.

Открытие было сделано в ходе исследований влияния конструктивных и технологических решений на параметры тонкопленочных СВЧ-резонаторов, применяемых в устройствах частотной селекции и стабилизации частоты радиоэлектронной аппаратуры. В результате был разработан особый способ напыления пленок алюминия с малой шероховатостью поверхности.

Брэгговский отражатель (или брэгговское зеркало, Bragg mirror, DBR-distributed Bragg reflector) – оптический элемент, представляющий собой структуру из чередующейся последовательности слоев двух различных оптических материалов. Наиболее часто используется конструкция в виде четвертьволнового зеркала, где толщина каждого оптического слоя соответствует четверти длины волны, для которой разработано зеркало. Последнее условие работает для нормальных углов падения (90 град). Для больших углов падения необходимы более толстые слои.

ОНИИП проводит исследования в области радиосвязи, ориентированные на решение широкого круга прикладных задач – от создания радиоэлектронных компонентов и устройств радиосвязи до сложнейших автоматизированных комплексов и систем связи и управления.

«Росэлектроника» – крупнейший в России производитель радиоэлектронных компонентов и технологий, входит в Госкорпорацию Ростех. Холдинговая компания объединяет 108 предприятий электронной отрасли, специализирующихся на разработке и производстве изделий электронной техники, электронных материалов и оборудования для их изготовления, СВЧ-техники и полупроводниковых приборов, подсистем, комплексов и технических средств связи, а также автоматизированных и информационных систем. Холдинг консолидирует около 60% отечественной промышленности электронных компонентов (по СВЧ-компонентам – до 80%). В соответствии со стратегией развития Госкорпорации Ростех доля гражданской продукции в совокупной выручке «Росэлектроники» к 2025 году должна возрасти в два раза – от 15% до 40%.